[发明专利]狭缝阀装置在审
| 申请号： | 202011253416.6 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112392978A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 陈敏杰;许进;唐在峰;任昱 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/02 | 分类号： | F16K3/02;F16K3/30;F16K41/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种狭缝阀装置，包括：驱动模块，运动轴，第一密封件，狭缝阀门。运动轴的第一端设置在驱动模块上，狭缝阀门设置在运动轴的第二端上。第一密封件上设置有金属轴承，运动轴穿过金属轴承，所述金属轴承的第二端和狭缝阀门都设置在第一密封件的内部空间中。在第一密封件的内部空间中还嵌套有第二密封件，第二密封件将金属轴承和运动轴包覆，以防止金属轴承和运动轴的摩擦颗粒上扬到机台腔中。本发明能防止狭缝阀装置的运动部件摩擦产生的颗粒污染进入到机台腔中并防止污染产品。 | ||
| 搜索关键词： | 狭缝 装置 | ||
【主权项】：
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