[发明专利]一种偏振同步移相干涉测量装置和方法有效
| 申请号： | 202011254418.7 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112344878B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 郝群;胡摇;宁妍;吕佳航;刘一鸣 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02;G01B9/02055 |
| 代理公司： | 北京市中闻律师事务所 11388 | 代理人： | 冯梦洪 |
| 地址： | 100081 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 偏振同步移相干涉测量装置及方法，解决了非球面在位测量中灵活性和准确性之间的平衡性问题，在保证面形测量精度的同时提高测量的灵活性。装置包括：激光器(1)、扩束镜(2)、准直镜(3)、第一分光棱镜(4)、第一偏振分光棱镜(5)、第一四分之一波片(6)、线偏振器(7)、空间光调制器(8)、参考镜(9)、第二偏振分光棱镜(10)、第二四分之一波片(11)、第一成像透镜(12)、第一偏振CCD相机(13)、被测镜(14)、第三四分之一波片(15)、第二分光棱镜(16)、第四四分之一波片(17)、第二成像透镜(18)、第二偏振CCD相机(19)。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 偏振 同步 相干 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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