[发明专利]用于电子轰击CMOS研究中电子图像分辨力的测试装置及方法有效
| 申请号： | 202011254741.4 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112378625B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 张昆林;邓华兵;杨文波;谭何盛;靳英坤;冯云祥;刀丽纯 | 申请（专利权）人： | 北方夜视技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G06T7/00;G09G3/00;H04N17/00 |
| 代理公司： | 昆明今威专利商标代理有限公司 53115 | 代理人： | 赛晓刚 |
| 地址： | 650217*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于电子轰击CMOS研究中电子图像分辨力的测试装置及方法，装置是在带抽真空排气泵的腔体内，从上到下依次安装第一反射镜、第二反射镜、Au阴极、背照CMOS图像传感器组件的靶面部分，腔体外部设置紫外光源、高压电源、CMOS的电路部分及抽真空泵。由光源发出的紫外平行光经第一反射镜、第二反射镜的反射和会聚作用，亮度增强并形成特定的斜入射角，照射在Au阴极表面，照射范围为整个Au阴极的有效区域，Au阴极吸收紫外光产生的光电子，在腔体外部加速高压的驱动下，轰击CMOS的靶面，产生增强的电子图像，未被Au阴极吸收的紫外光透射至CMOS的靶面产生的光学图像与电子图像完全分离，通过对分辨力图案的判读，可以获得电子轰击CMOS的分辨力指标。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电子 轰击 cmos 研究 图像 分辨力 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
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