[发明专利]一种硅片生产系统有效
| 申请号： | 202011257429.0 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112486110B | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 齐成天;罗向玉;李鑫;郭永强;时辰;高永辉 | 申请（专利权）人： | 银川隆基光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 750000 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明公开一种硅片生产系统，涉及硅片生产技术领域，以提供一种在硅片生产过程中，自动统计各个工序信息的技术方案。包括：控制平台，与控制平台通信的切片设备、脱胶设备、插片清洗设备以及分选设备。切片设备用于向控制平台发送切片物料的切片工序信息；脱胶设备用于向控制平台发送脱胶物料的脱胶工序信息，插片清洗设备用于向控制平台发送脱胶物料的插片清洗工序信息，分选设备用于向控制平台发送硅片的分选工序信息；控制平台还用于根据切片设备的加工需求信息确定切片原料信息，将切片工序信息、脱胶工序信息、插片清洗工序信息和分选工序信息与切片原料信息进行绑定和存储。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 生产 系统 | ||
【主权项】：
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