[发明专利]一种低刚度零件复杂表面高精度抛光装置

摘要

本发明公开一种低刚度零件复杂表面高精度抛光装置，涉及精密表面处理技术领域，包括电源、驱动单元、电极和工作台；所述装置利用电化学机械抛光的方法；所述电极和所述工作台均与所述驱动单元传动连接，所述电极为可内充液的管状电极，设置于所述工作台上方；所述电源的负极与所述电极电连接，所述电源的正极与待加工工件电连接；所述电极通过自身旋转运动、上下往复运动和圆周摇动运动相结合的方式，可抛光不同尺寸的圆弧面、椭圆面及复杂表面。用所述装置对低刚度零件关键表面抛光，可提高零件尺寸精度和表面质量的一致性，提升零件整体加工的可控性。