[发明专利]一种可分级处理的硅块蚀刻装置

摘要

本发明涉及一种硅块领域，尤其涉及一种可分级处理的硅块蚀刻装置。本发明的技术问题为：提供一种可分级处理的硅块蚀刻装置。技术方案：一种可分级处理的硅块蚀刻装置，包括有支撑框架、实时控制屏、表面切除系统、物料转运系统、破碎系统、蚀刻系统、高压喷水器、第一储料箱和支撑底脚；支撑框架与实时控制屏相连接。本发明达到了将硅锭的有机物积淀最多的外层预先削除，防止破碎后对硅锭内部硅块二次污染，并且对破碎后体积不同的硅块进行分级蚀刻，使体积不同的硅块蚀刻程度保持一致，并且对硅块进行分级冲洗，防止蚀刻液残留，同时避免小块硅块得不到充分冲洗的现象的效果。