[发明专利]垂直腔面发射激光器在审

专利信息
申请号: 202011262836.0 申请日: 2020-11-12
公开(公告)号: CN112436379A 公开(公告)日: 2021-03-02
发明(设计)人: 张穗;乔鹏飞;沈志强 申请(专利权)人: 深圳博升光电科技有限公司
主分类号: H01S5/183 分类号: H01S5/183
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 代理人: 郭栋梁
地址: 518000 广东省深圳市南山区桃源街道福*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请公开了一种垂直腔面发射激光器,包括:层叠设置的第一反射器层、有源层、第二反射器层;所述第二反射器层上设置有第一光栅槽,所述第一光栅槽自所述第二反射器层背离所述有源层的表面,延伸至所述第二反射器层内部。上述方案,通过在该垂直腔面发射激光器的某一或某几层刻蚀光栅槽,使刻蚀光栅槽的位置形成高对比度光栅,该高对此度光栅可以减小垂直腔面发射激光器的发散角,提高能量集中及使垂直腔面发射激光器发射的激光为偏振光。
搜索关键词: 垂直 发射 激光器
【主权项】:
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