[发明专利]一种抗辐射加固SOI材料的总剂量辐射性能评估方法在审
| 申请号： | 202011266943.0 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112379240A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 郑齐文;崔江维;余学峰;李豫东;郭旗 | 申请（专利权）人： | 中国科学院新疆理化技术研究所 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 乌鲁木齐中科新兴专利事务所(普通合伙) 65106 | 代理人： | 张莉 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种抗辐射加固SOI材料的总剂量辐射性能评估方法，该方法采用基于商用SOI材料和加固SOI材料制作的晶体管作为试验样品；对基于商用材料和加固材料的试验样品开展相同条件下的总剂量辐照试验，提取辐射在氧化物埋层中引入的氧化物陷阱电荷密度；对加固材料制作的晶体管，开展热载流子注入试验，提取热载流子应力在氧化物埋层中引入的电子陷阱电荷密度；基于以上三种陷阱电荷密度，获得加固材料氧化物埋层的电子陷阱俘获系数。通过该俘获系数与热载流子应力试验，即可获得加固SOI材料的抗辐射性能。该方法的优势在于，通过少量辐照试验结合热载流子应力试验，即可快速获得同一批次加固SOI材料的抗总剂量辐射能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辐射 加固 soi 材料 剂量 性能 评估 方法 | ||
【主权项】：
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