[发明专利]一种碳化硅涂层石墨基座的制备方法在审
| 申请号： | 202011267391.5 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112374912A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 戴煜;吴建;王林静;王卓健 | 申请（专利权）人： | 湖南中科顶立技术创新研究院有限公司;南昌大学 |
| 主分类号： | C04B41/87 | 分类号： | C04B41/87 |
| 代理公司： | 长沙智路知识产权代理事务所(普通合伙) 43244 | 代理人： | 曲超 |
| 地址： | 410118 湖南省长*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： |
本发明公开一种碳化硅涂层石墨基座的制备方法，该制备方法包括以下步骤：对石墨基座进行预处理，然后置于石墨分流盘上；进行CVR沉积：将高纯Si粉末和高纯SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 涂层 石墨 基座 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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