[发明专利]一种致密超高纯材料的制备方法有效
| 申请号： | 202011267998.3 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112374474B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 陈伟杰;白平平;朱刘;周铁军;何志达;危严;林嘉威;王帮琼 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B25/043 | 分类号： | C01B25/043;C22B30/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 付丽 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种致密超高纯材料的制备方法，与现有的红磷/砷生产提纯工艺相比，本发明中的整个转化过程在密闭的石英管内进行，避免环境对产品的影响，通过精确控制高低温区温度，使得高温区非致密的砷/磷颗粒以气态形式迁移至低温区后凝华、成核、生长得出致密的砷或磷，而高沸点杂质元素仍然留在高温区，实现砷/磷的第一步提纯。降温末期，控制致密砷或磷区域温度始终高于其他区域，使低沸点的Cl、S等杂质元素在另一端冷凝，实现砷/磷的第二步提纯。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 致密 高纯 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
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