[发明专利]一种铁钴硼铬铝合金粉末的制备方法在审

专利信息
申请号: 202011268348.0 申请日: 2020-11-13
公开(公告)号: CN112371987A 公开(公告)日: 2021-02-19
发明(设计)人: 王永超;陈耘田;赵泽良;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;居炎鹏;郭利乐;刘占军;李伟 申请(专利权)人: 河南东微电子材料有限公司
主分类号: B22F9/08 分类号: B22F9/08;C22C30/00;C22C38/06;C22C38/30;C22C38/32
代理公司: 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 代理人: 李伟
地址: 450000 河南省郑州市航空港区新港大*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明公开了一种铁钴硼铬铝合金粉的制备方法,其步骤包括:一、按一定质量比称取铁块(纯度99.99%)、钴片(纯度99.99%)、铁硼粉(纯度99.9%,粒度300μm)、铬块(纯度99.99%)、铝块(纯度99.99%);二、将原料混合放入中频真空感应炉中,在氩气保护下进行多次熔炼,得到均匀化的铁钴硼铬铝合金液;三、将母合金液经中间包导入高温气雾化炉,合金液流入雾化室进行气雾化分散,冷却后得到粉末;四、将步骤三所得粉末进行超声洗涤、干燥、分级筛分后,获得铁钴硼铬铝合金粉末产品。本发明通过限定原料和控制气雾化法工艺,可以制备纯度高于99.95%、平均粒径为56μm的铁钴硼铬铝合金粉末,该粉合金粉成分均匀、杂质少、流动性好。本发明工艺流程简单,适合批量化生产,满足磁控溅射靶材制备对高质量铁钴硼铬铝合金粉的要求。
搜索关键词: 一种 铁钴硼铬 铝合金 粉末 制备 方法
【主权项】:
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