[发明专利]一种高通量物理气相沉积方法用于钙钛矿电池中氧化物功能层的大面积制备在审
| 申请号： | 202011269860.7 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112501561A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 刘生忠;孙友名;冯江山;曹越先;段连杰;王辉;杜敏永;王立坤;王开 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/54;C23C14/58;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/24;H01L51/48;H01L51/42 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 张玉莹;李馨 |
| 地址： | 116000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高通量物理气相沉积方法用于钙钛矿电池中氧化物功能层的大面积制备方法。所述的高通量是指单位时间内产量输出很高；所述的物理气相沉积方法包括电子束蒸发系统、磁控溅射系统、脉冲激光沉积系统、电阻式热蒸发系统等；所述的氧化物是指各种金属氧化物，例如三氧化钨、五氧化二铌、二氧化锡、二氧化钛、氧化镍、氧化锌、三氧化钼等；所述的功能层是指电荷传输层，包括电子传输层和空穴传输层，可以作为电荷传输的载体；所述的大面积是指面积大于800平方厘米。利用上述方法制备出的氧化物功能层，配合钙钛矿吸收层，可以实现在全可见光范围内的光吸收、利用和转换，便于产业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通量 物理 沉积 方法 用于 钙钛矿 电池 氧化物 功能 大面积 制备 | ||
【主权项】：
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