[发明专利]碳化硅锭和碳化硅衬底的制造方法在审
| 申请号： | 202011271507.2 | 申请日： | 2014-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN112575377A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 堀勉;佐佐木信;本家翼;川濑智博 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/02;B24B27/06;B28D5/04;H01L21/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 王海川;牛嵩林 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明涉及碳化硅锭和碳化硅衬底的制造方法。本发明提供了一种碳化硅锭(1)，其包括端表面(1a)和与端表面(1a)相反端表面(1b)。在碳化硅锭(1)中，端表面(1a)和端表面(1b)在生长方向上彼此面对，并且所述生长方向上的氮浓度梯度不小于1×10 |
||
| 搜索关键词： | 碳化硅 衬底 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友电气工业株式会社，未经住友电气工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011271507.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：信号采集系统、压缩机及空调器
- 下一篇：捆扎机
