[发明专利]光学聚焦和焦斑连续扫描的透射电子显微镜样品杆系统有效
| 申请号： | 202011272104.X | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112309808B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 马超杰;刘畅;刘开辉;许晋京;许智;王恩哥;白雪冬 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/21;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京市英智伟诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11521 | 代理人： | 刘丹妮;姚望舒 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具备光学聚焦和焦斑连续扫描的透射电子显微镜样品杆系统，其至少包括有安装有光纤和小口径透镜的样品杆、激光器、显微物镜、分光棱镜、反射镜等构成的光学系统，以及压电陶瓷管、微分测微头、三轴位移台等构成的机械系统。所述安装于样品杆的光纤用于将透射电镜外部激光引入透射电镜，位于所述样品杆内部的光纤端面出射的激光通过所述的小口径透镜组成的4f透镜系统产生聚焦光斑，所述的压电陶瓷管和微分测微头可实现聚焦光斑在有限空间的三维扫描。本发明提出了一种具备光学聚焦和连续扫描的透射电子显微镜样品杆系统，用于将聚焦的光学信号引入透射电镜，提高光学信号激发和收集效率。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 聚焦 连续 扫描 透射 电子显微镜 样品 系统 | ||
【主权项】：
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