[发明专利]镍基靶材及其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 202011275834.5 申请日: 2020-11-16
公开(公告)号: CN112479710B 公开(公告)日: 2023-01-03
发明(设计)人: 裴宇娟;曹彦伟;张如意;彭邵勤;宋洋 申请(专利权)人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
主分类号: C04B35/50 分类号: C04B35/50;C04B35/64;C04B35/622;C23C14/35;C23C14/08;C23C14/58
代理公司: 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 代理人: 李丽华
地址: 315201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及陶瓷靶材领域,特别是涉及一种镍基靶材及其制备方法和应用。通过球磨‑预烧‑二次球磨‑造粒‑制坯‑排胶‑程序式升温烧结‑程序式降温的生产工艺,制备得到了成分纯净,元素和密度分布均匀,且具有良好的机械强度、硬度和致密度的Nd1‑xAxNiO3陶瓷靶材,将其进行磁控溅射生长可得到Nd1‑xAxNiO3薄膜,该薄膜具有良好的结晶度和高质量的单晶外延性质;此外,本发明还提供了一种Nd1‑xAxNiO2薄膜,其具有优良的超导特性和电输运性质。
搜索关键词: 镍基靶材 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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