[发明专利]一种用于外延设备的测温装置及外延设备在审
| 申请号： | 202011276432.7 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN112481696A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 曹岩;牛景豪 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/16 | 分类号： | C30B25/16;C30B23/02;H01L21/67;G01J5/00;G01K1/14;G01K7/02;G01K13/00 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 李斌栋;沈寒酉 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种用于外延设备的测温装置及外延设备；所述测温装置用于测量放置于所述外延设备中的承载托盘上表面的晶圆温度值，所述装置包括：多个均匀埋设于所述承载托盘内的温度传感器，每个所述温度传感器用于感测自身在所述承载托盘的埋设点处所对应区域的温度值；每个所述温度传感器均引出导线与设置于外延设备外部的温度控制器相连接；所述温度控制器，用于基于所有温度传感器通过所述导线传输的温度值确定所述承载托盘上表面放置的晶圆的温度分布。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 外延 设备 测温 装置 | ||
【主权项】：
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