[发明专利]一种晶圆干燥装置在审
| 申请号： | 202011279392.1 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN112539641A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 田一;李小龙;田英干 | 申请（专利权）人： | 天霖（张家港）电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 周超 |
| 地址： | 215626 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆干燥装置，包括升降机构、安装在升降机构上的机械臂、驱动机械臂在升降机构上升降的第一电机，所述机械臂上安装有摇摆的摇摆臂以及驱动摇摆臂进行摇摆的第第二电机，所述摇摆臂上均匀安装有多个气体喷嘴，所述气体喷嘴包括加热单元，第一电机驱动机械臂进行升降来实现对不同位置的晶圆进行干燥处理，第二电机驱动摇摆臂进行摇摆实现对晶圆的不同角度进行干燥处理，提高了晶圆的干燥效果，提高了产品的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干燥 装置 | ||
【主权项】：
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