[发明专利]一种晶棒处理装置及控制方法有效
申请号: | 202011279741.X | 申请日: | 2020-11-16 |
公开(公告)号: | CN112388849B | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | 陈莹 | 申请(专利权)人: | 湖北工业大学 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/00;B24B5/04;B24B5/50;B24B5/35;B24B49/12;B65G65/32;B65G69/16 |
代理公司: | 重庆项乾光宇专利代理事务所(普通合伙) 50244 | 代理人: | 高姜 |
地址: | 430068 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种晶棒处理装置及控制方法,包括:收集箱、直线驱动机构、伸缩件、托起机构和吸气机构,所述直线驱动机构设置在收集箱的一端外壁上,所述直线驱动机构沿着收集箱的前、后方向分布,所述伸缩件安装在直线驱动机构上,所述伸缩件沿着收集箱的左、右方向分布,所述托起机构竖直设置在伸缩件的内端上,所述吸气机构设置在收集箱的侧壁上,且吸气机构和托起机构互相连通;所述托起机构包括底托件和侧挡件,所述侧挡件固定在底托件的顶面右端上。本发明中能够从收集箱内同时取出多个晶棒,作业简单、劳动强度低;晶棒在套筒内下落的过程中,具有多次缓冲的功能,消除晶棒的底端被撞击损坏的风险,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 处理 装置 控制 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖北工业大学,未经湖北工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202011279741.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。