[发明专利]一种晶棒处理装置及控制方法有效

专利信息
申请号: 202011279741.X 申请日: 2020-11-16
公开(公告)号: CN112388849B 公开(公告)日: 2022-06-14
发明(设计)人: 陈莹 申请(专利权)人: 湖北工业大学
主分类号: B28D5/00 分类号: B28D5/00;B28D7/00;B24B5/04;B24B5/50;B24B5/35;B24B49/12;B65G65/32;B65G69/16
代理公司: 重庆项乾光宇专利代理事务所(普通合伙) 50244 代理人: 高姜
地址: 430068 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供一种晶棒处理装置及控制方法,包括:收集箱、直线驱动机构、伸缩件、托起机构和吸气机构,所述直线驱动机构设置在收集箱的一端外壁上,所述直线驱动机构沿着收集箱的前、后方向分布,所述伸缩件安装在直线驱动机构上,所述伸缩件沿着收集箱的左、右方向分布,所述托起机构竖直设置在伸缩件的内端上,所述吸气机构设置在收集箱的侧壁上,且吸气机构和托起机构互相连通;所述托起机构包括底托件和侧挡件,所述侧挡件固定在底托件的顶面右端上。本发明中能够从收集箱内同时取出多个晶棒,作业简单、劳动强度低;晶棒在套筒内下落的过程中,具有多次缓冲的功能,消除晶棒的底端被撞击损坏的风险,降低生产成本。
搜索关键词: 一种 处理 装置 控制 方法
【主权项】:
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