[发明专利]三种工作模式的低温兼容压电纳米位移台有效
| 申请号： | 202011282167.3 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN112436753B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 程光磊;蔡方煦;黄成园;王浩远;杜江峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H02N2/00 | 分类号： | H02N2/00;H02N2/02;H02N2/04;H02N2/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种压电纳米位移台，包括水平位移台、z方向位移管、连接零件和样品盘；其中：水平位移台，包括两个压电陶瓷堆、电容传感器和机械放大结构，两个水平位移台通过中间连接板连接，从而具备水平x、y两个方向的扫描能力；z方向位移管，包括压电陶瓷管、绝缘管、升降柱、弯曲弹簧片和蓝宝石片，用于实现所述升降柱的步进上升和步进下降；连接零件，包括绝缘连接器、水平位移台连接器和位移台外壳，用于组装连接z方向位移管和水平位移台；样品盘，包括上样品盘、中样品盘、下样品盘、半球蓝宝石珠、样品盘弹簧片和受压平台；通过这些结构部分的相互连接及相互配合实现样品盘沿z方向的步进上升与步进下降。 | ||
| 搜索关键词： | 工作 模式 低温 兼容 压电 纳米 位移 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学技术大学，未经中国科学技术大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011282167.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
