[发明专利]飞秒脉冲簇产生方法及石英微流控芯片制造装置有效
| 申请号： | 202011283179.8 | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN112570897B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 曾和平;南君义;胡梦云 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学重庆研究院;上海朗研光电科技有限公司;华东师范大学;重庆华谱科学仪器有限公司;重庆华谱智能装备有限公司;云南华谱量子材料有限公司;广东朗研科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/0622 |
| 代理公司： | 重庆启恒腾元专利代理事务所(普通合伙) 50232 | 代理人： | 江涛 |
| 地址： | 401123 重庆市渝北*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种飞秒脉冲簇制备石英微流控芯片方法及其装置，其特点是将飞秒脉冲簇通过分束器件分成多路，经过汇聚透镜在焦点处形成飞秒脉冲簇等离子体，或者多路光束之间干涉形成飞秒脉冲簇等离子体光栅，同时通过光烧蚀加工微通道以及氢氟酸浸泡制备微流控芯片。微流控芯片制造装置包括：飞秒脉冲簇激光源、光束分离与干涉、激光烧蚀加工微通道、氢氟酸浸泡池。本发明为微通道芯片制造提供新的制备方法，在超快光学技术加工微流控芯片领域具有很好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 产生 方法 石英 微流控 芯片 制造 装置 | ||
【主权项】：
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