[发明专利]一种晶圆片自动定位打标装置及方法

摘要

本发明提供了一种晶圆片自动定位打标装置，包括旋转吸头、设于旋转吸头旁的上下料机构和设于旋转吸头上方的打标机构，还包括对位机构，对位机构包括对中卡爪、平边挡边、定位柱和传感器，对中卡爪对称布置于所述旋转吸头中轴线的两侧，还提供了一种晶圆片自动定位打标方法，步骤包括用对中卡爪进行晶圆对中，用平边挡边和定位柱进行角度定位，随后再对定位后的晶圆片进行打标，本发明相比现有技术的主要优点在于：采用对中卡爪进行对中，使晶圆片的圆心对齐旋转吸头的中轴线，进而提高定位精度。通过传感器、平边挡边和定位柱的配合对晶圆片的平边进行定位，相比图像匹配定位的方式效率大幅提高，有效提高了整体定位效率。