[发明专利]高精度的成像系统、方法及检测设备有效
| 申请号： | 202011284549.X | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN112098424B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 崔忠伟 | 申请（专利权）人： | 北京领邦智能装备股份公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01;G03B15/02;G02B19/00;G02B13/22 |
| 代理公司： | 北京墨丘知识产权代理事务所(普通合伙) 11878 | 代理人： | 代峰 |
| 地址： | 100094 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种高精度的成像系统、方法及检测设备，所述成像系统包括：镜头、透镜组、分光镜和发光面；其中，所述透镜组包括至少一个透镜，具有等效的正光焦度、焦点和第一透镜光轴；所述发光面与所述透镜组等效的焦平面的位置差异不超过第一预设范围；所述第一透镜光轴经所述分光镜反射形成第二透镜光轴；所述镜头具有镜头光轴，所述镜头光轴穿过所述分光镜，且所述镜头光轴与所述第二透镜光轴的角度偏差不超过第二预设范围；第一预设范围为距离偏差±10mm和/或角度偏差±20度；第二预设范围为角度偏差±15度。本发明的技术方案通过照明和成像镜头的一体化设置，有效提升了成像的一致性，可获得高精度且稳定的工件图像。 | ||
| 搜索关键词： | 高精度 成像 系统 方法 检测 设备 | ||
【主权项】：
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