[发明专利]薄膜制备方法在审
| 申请号： | 202011284775.8 | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN112593185A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 张同文;王宽冒;赵联波;傅新宇 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/34;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种薄膜制备方法，包括：自衬底表面将活性粒子掺杂入衬底材料；在掺杂后的衬底表面上沉积形成薄膜。在沉积薄膜的过程中，活性粒子用于作为催化剂促使薄膜材料中的离子与衬底材料中的原子反应形成化学键。本发明实施例提供的薄膜制备方法，可以使薄膜与衬底之间通过化学键和分子间作用力连接，进而提高薄膜与衬底之间的粘附强度。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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