[发明专利]一种基于变步长融合算法的薄膜材料光学常数的获取方法

摘要

本发明提供了一种基于变步长融合算法的薄膜材料光学常数的获取方法，其特征在于，将模拟退火算法和蚁群算法相融合，加入自适应步长的方法，根据评价函数的值，降低局部搜索步长的数量级防止跳过低谷区，实现对椭圆偏振光谱仪测得的椭偏数据进行快速精确的反演计算，获得光电薄膜的消光系数、折射率和厚度。本发明主要解决了传统蚁群算法难以跳出局部最优解的问题，能有效的防止陷入局部最优解和最优蚂蚁跳过评价函数的低谷区，提高搜索速度和准确度。通过本发明的技术方案，可以提高收敛速度，减少迭代次数，降低评价函数，更快速的获得更精确的光电薄膜的消光系数、折射率和厚度。