[发明专利]高精度角位移测量装置有效
申请号: | 202011286031.X | 申请日: | 2020-11-17 |
公开(公告)号: | CN112484668B | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 于海 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26 |
代理公司: | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人: | 高一明;郭婷 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明提供了一种高精度角位移测量装置,包括:主轴、法兰盘、发光电路、标定光栅、接收电路、处理电路;标定光栅安装在主轴上,随主轴同步转动;法兰盘用于安装固定发光电路、接收电路;接收电路包括三个互相成120°夹角的图像传感器;发光电路包括三个分别位于图像传感器的对射位置的平行光源;工作时,主轴带动标定光栅转动,三个图像传感器同时采集标定光栅三个位置处的图案信息,通过信号线束将图像信息发送给处理电路;处理电路上的信号采集模块将接收到的图案信息发送给微处理器模块,微处理器模块进行角位移识别和运算,将当前主轴的转角信息发送给数据出处模块,实现对主轴转角的测量。 | ||
搜索关键词: | 高精度 位移 测量 装置 | ||
【主权项】:
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