[发明专利]掩膜板有效
申请号: | 202011288232.3 | 申请日: | 2020-11-17 |
公开(公告)号: | CN112410726B | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 李伟丽;韩冰;李文星;周小康 | 申请(专利权)人: | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 娜拉 |
地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明实施例提供一种掩膜板,包括:框式主体,具有通用蒸镀开口;子掩膜板,由框式主体的边缘向通用蒸镀开口延伸,子掩膜板开设有多个像素开口,在子掩膜板靠近通用蒸镀开口边缘设有蒸镀补偿区,蒸镀补偿区设有多个补偿单元,且补偿单元在所述框式主体上的正投影呈锯齿形。本申请实施例通过设置多个补偿单元在保证子掩膜板具有符合蒸镀过程需要的强度的同时,缩小显示面板的非显示区,实现全面屏显示。 | ||
搜索关键词: | 掩膜板 | ||
【主权项】:
暂无信息
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