[发明专利]一种具有测频功能的MEMS陀螺在线激光修调系统及方法有效
| 申请号： | 202011288733.1 | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN112393744B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 闫鑫 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 杜永保 |
| 地址： | 710076 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具有测频功能的MEMS陀螺在线激光修调系统及方法，所述系统包括修调模块，测频模块和控制计算机，其中修调模块中的对准系统包括捕捉对准光源光束在待修调MEMS陀螺芯片上的投影图像，以便进行对准操作的对准光源和图像传感器，红外图像传感器和红外物镜相对于红外光源置于待修调MEMS陀螺芯片的另一侧，用于捕捉红外图像进行对准判断。本发明采用可见光加红外通过双侧同时显像确认修调聚焦点，解决激光透过玻璃电极层对密封MEMS陀螺芯片中硅谐振结构层进行频率修调时聚焦检测困难的问题，能实时监测修调图形，实现在线修调，MEMS陀螺加工完成后无需工艺变动即可实现修调，与原有生产工艺完全兼容。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 功能 mems 陀螺 在线 激光 系统 方法 | ||
【主权项】：
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