[发明专利]基板的弧度检测方法及其系统在审
| 申请号： | 202011289440.5 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112378322A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 章恒镖 | 申请（专利权）人： | 杭州骉昇科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/207 | 分类号： | G01B5/207 |
| 代理公司： | 杭州万合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33294 | 代理人： | 丁海华 |
| 地址： | 311401 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了基板的弧度检测方法和系统，包括以下步骤：在定位板上固定多个千分表感应器，在定位板上设置载物台，载物台上设有多个通槽，千分表感应器的表头穿过通槽向上伸出；对基板表面进行清洗和擦拭，去除掉基板表面的污物；将待检测的基板置于载物台上，并且两侧的限位块对其有效的限位，基板的底面与多个千分表感应器的感应表头充分接触；基板向下压千分表感应器的千分表头，千分表头受力往回收缩，千分表感应器感应到收缩量，并将该数据传输给计算机。本发明能够同时检测出基板表面的对应点的数值，并且显示出基板表面上不同方向的变形弧度情况。 | ||
| 搜索关键词： | 弧度 检测 方法 及其 系统 | ||
【主权项】：
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