[发明专利]多腔压电气液泵

摘要

本发明提供了一种多腔压电气液泵，包括压电气泵和压电液泵，压电气泵底座与压电液泵螺纹连接；压电气泵包括螺纹泵盖I、密封圈I、三个压电振子I和泵体I，三个压电振子I分别和泵体I形成泵腔并将泵腔分为第一泵腔、第二泵腔和第三泵腔，在第一泵腔和第二泵腔对应的入口和出口内分别设有随动式薄圆片阀，泵体I底部设有第一固定架，第一固定架上设有第一V形阻流体。随动式薄圆片阀响应快速、开启压力小、泵阀跟随性好，配合盘形振子，极大地提高了并联泵的泵送性能。本发明将有阀泵、无阀泵、气泵、液泵集成为一体，各泵可联合控制亦可单独控制，可实现气、液同时泵送及单独泵送，流量范围宽，能够满足多种工作需求。