[发明专利]一种单晶硅制造用单晶炉及其安装固定方法在审

专利信息
申请号: 202011292168.6 申请日: 2020-11-18
公开(公告)号: CN112410875A 公开(公告)日: 2021-02-26
发明(设计)人: 高俊伟;宋生宏;高玉顺;张培顺;韩永龙;祁永福;何旭;杨延生 申请(专利权)人: 阳光能源(青海)有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B35/00
代理公司: 青海省专利服务中心 63100 代理人: 李玉青
地址: 810000 青海*** 国省代码: 青海;63
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摘要: 发明公开了一种单晶硅制造用单晶炉及其安装固定方法,该单晶炉包括单晶炉本体、固定座和底座,单晶炉本体固定安装于底座顶端的中部,底座底端的中部设置有圆柱形凸起,固定座顶端的中部固定安装有安装座,安装座内端的顶部设置有圆槽,圆柱形凸起的底部滑动安装于圆槽内,圆槽内端的底部固定安装有缓冲垫;本发明的有益效果是:本发明一种单晶硅制造用单晶炉,通过在圆槽内设置缓冲垫可以在安装时起到缓冲作用,通过加固机构和固定环均可进一步的对单晶炉本体进行加固,稳固性较好,安装时首先将固定座安装在地面上,然后再进行单晶炉本体进行安装,简化了单晶炉本体的安装流程,安装过程中不易对单晶炉本体造成损坏。
搜索关键词: 一种 单晶硅 制造 用单晶炉 及其 安装 固定 方法
【主权项】:
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