[发明专利]干涉仪位移测量系统及方法有效
| 申请号： | 202011293860.0 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112484647B | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 孙国华;高晓良;徐蕾 | 申请（专利权）人： | 北京华卓精科科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 王迎;袁文婷 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种干涉仪位移测量系统及方法，其中的系统包括：测量光经第一偏振分光棱镜、第一1/4波片、第一分光棱镜、光波导组件以及反射装置的处理后，返回第一光电探测器和第二光电探测器中；参考光经第二偏振分光棱镜、第二1/4波片、第二分光棱镜以及反射镜的处理后，返回至第一光电探测器和第二光电探测器中；第一光电探测器根据处理后的测量光和参考光形成测量信号，第二光电探测器根据处理后的测量光和参考光形成参考信号；根据测量信号和参考信号确定待检测物体的位移信息。利用上述发明能够减小位移测量误差、提高测量精度和测量范围。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉仪 位移 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
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