[发明专利]基于电解液约束的超声辅助电化学微纳加工方法有效
| 申请号： | 202011295081.4 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112658412B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 沈春健;朱荻;朱增伟 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | B23H3/00 | 分类号： | B23H3/00;B23H7/38 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 韩天宇 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于金属微纳加工领域，涉及一种基于电解液约束的超声辅助电化学微纳加工方法。本发明电化学微纳加工方法包含若干周期，每个周期内分为两个工作节拍：电解液约束电解加工和超声辅助振动，其中电解液约束电解加工过程采用充满电解液的微纳米移液管与工件之间构造微纳液滴连接，将电解反应约束在微液滴范围内进行微坑加工。而超声辅助振动过程则在工件表面进行定向超声，对微坑内的电解液进行超声雾化来带走微量电解产物。在加工过程中，两个工作节拍独立工作和脉动切换，在电解加工的同时能够及时清除电解产物，从而提高微纳尺度的电解加工精度与质量，并通过设定电解加工路径在金属表面制备获得高精度、高质量的微纳尺度坑/槽结构。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 电解液 约束 超声 辅助 电化学 加工 方法 | ||
【主权项】：
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