[发明专利]膜层结构测试系统及膜层电学参数测试结构有效
| 申请号： | 202011295120.0 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112557775B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 沈宇;占瞻;石正雨;童贝 | 申请（专利权）人： | 瑞声新能源发展（常州）有限公司科教城分公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01R29/22 | 分类号： | G01R29/22 |
| 代理公司： | 深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙) 44636 | 代理人： | 刘伟 |
| 地址： | 213167 江苏省常州市武进*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种膜层结构测试系统，其包括信号产生模块、待测模块、信号放大模块以及信号处理模块，信号产生模块用于产生检测信号；待测模块包括压电薄膜，待测模块用于接收检测信号，将压电薄膜通过逆压电效应产生形变并将形变转换成电信号，再将该电信号在压电薄膜通过正压电效应产生输出电信号；信号放大模块用于将接收的输出电信号进行放大处理产生放大电信号；信号处理模块用于分别接收检测信号和放大电信号，再进行比较处理，获得压电薄膜的电学参数。本发明还公开两种应用于膜层结构测试系统的膜层电学参数测试结构。与相关技术相比，本发明的膜层结构测试系统和膜层电学参数测试结构的结构简单且易于测试。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 测试 系统 电学 参数 | ||
【主权项】：
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