[发明专利]一种有机场效应晶体管气体传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202011295179.X | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112432977B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 宋健;李铁;刘萌;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;G01N27/414 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种有机场效应晶体管气体传感器及其制备方法，所述有机场效应晶体管气体传感器包括绝缘层、气敏材料层、栅电极、源极和漏极；所述绝缘层形成于所述栅电极之上；所述气敏材料层用于与被检测气体反应，所述气敏材料层设于所述绝缘层上方；所述气敏材料层由掺杂有F4TCNQ的气敏材料制作而成；所述源极和所述漏极位于同一层，且均设于所述气敏材料层的上方。本申请通过掺杂有F4TCNQ的气敏材料，能够提高器件的信噪比，同时能够提高器件的灵敏度和选择性等性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有机 场效应 晶体管 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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