[发明专利]半导体器件和形成半导体器件的方法在审
申请号: | 202011295337.1 | 申请日: | 2020-11-18 |
公开(公告)号: | CN113257810A | 公开(公告)日: | 2021-08-13 |
发明(设计)人: | 程仲良;林秉顺;方子韦;赵皇麟 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/088 | 分类号: | H01L27/088;H01L27/092;H01L21/8234;H01L21/8238 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人: | 章社杲;李伟 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明描述了半导体器件,包括衬底和位于衬底上的第一晶体管。第一晶体管包括第一栅极结构,并且第一栅极结构包括栅极介电层和位于栅极介电层上的第一功函层。第一栅极结构还包括位于第一功函层上的覆盖层。半导体器件还包括位于衬底上的第二晶体管,其中第二晶体管包括第二栅极结构。第二栅极结构包括栅极介电层和位于栅极介电层上的第二功函层。第二栅极结构还包括位于第二功函层上的第一功函层和位于第一功函层上的硅覆盖层。本发明的实施例还涉及形成半导体器件的方法。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 形成 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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