[发明专利]一种非平衡磁场的高能脉冲磁控镀膜机及其制作加工工艺有效
| 申请号： | 202011295338.6 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112522672B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 林海天;胡致富;李立升 | 申请（专利权）人： | 东莞市华升真空镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 东莞市奥丰知识产权代理事务所(普通合伙) 44424 | 代理人： | 田小红 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市大岭*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种非平衡磁场的高能脉冲磁控镀膜机，包括镀膜腔室以及安装在镀膜腔室内的转盘、安装治具、磁控阴极组件和离子源；所述安装治具固定在转盘上方；所述磁控阴极组件设置至少一组；每组所述磁控阴极组件分别包过若干个位于转盘外周的磁控阴极；相邻的所述磁控阴极之间的磁场闭合；所述离子源与磁控阴极耦合，在镀膜工艺中，在镀膜前，先对材料进行四次刻蚀，本设计可以提高产品的离化率以及改变材料的显微晶结构，镀膜效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平衡 磁场 高能 脉冲 镀膜 及其 制作 加工 工艺 | ||
【主权项】：
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