[发明专利]一种蒸镀掩模、组件、装置及有机显示装置在审
| 申请号： | 202011296270.3 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112323019A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 蓝秋亮 | 申请（专利权）人： | 匠博先进材料科技（广州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604 | 代理人： | 胡国英 |
| 地址： | 510000 广东省广州市黄埔区香山路9*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种蒸镀掩模，所述蒸镀掩模在蒸镀材料向蒸镀基板的蒸镀中被使用，所述蒸镀掩模包括：第一面侧、第二面侧及贯通孔，其特征在于，所述第一面侧包括第一凹部和第一支撑部，所述第一凹部围绕所述贯通孔，所述第一支撑部为平面，所述第一支撑部围绕所述第一凹部，所述第二面侧包括若干个第二凹部和若干个第二支撑部，所述第二凹部与所述第一凹部相贯穿形成贯通孔，所述第二支撑部为平面，且所述第二支撑部至所述第一支撑部的厚度T，满足关系式：10um≤T≤40um；使得金属掩模既保持刚性，又减小蒸镀时阴影影响，最终实现无混色的优良有机EL基板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀掩模 组件 装置 有机 显示装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于匠博先进材料科技（广州）有限公司，未经匠博先进材料科技（广州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011296270.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
