[发明专利]蒸镀掩模、蒸镀掩模组件、蒸镀掩模装置及显示装置在审
| 申请号： | 202011296385.2 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112323020A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 蓝秋亮 | 申请（专利权）人： | 匠博先进材料科技（广州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/00 |
| 代理公司： | 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604 | 代理人： | 胡国英 |
| 地址： | 510000 广东省广州市黄埔区香山路9*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蒸镀掩模，包括：第一面侧、第二面侧及贯通孔，其特征在于，所述第一面侧至所述第二面侧的厚度T，满足关系式：5um≤T≤40um；所述第一面侧至少包括若干第一凹部，所述第一凹部围绕所述贯通孔，所述第一凹部包括第一开口及第一刻蚀面；所述第二面侧至少包括多个第二凹部，所述第二凹部向所述第一面侧凹陷，所述第二凹部与所述第一凹部相贯穿形成贯通孔；定义一垂直所述第一面侧与所述第二面侧的纵截面，定义所述第一开口的纵截面宽度为D，所述贯通孔的纵截面宽度为F，则满足关系式：1um≤D‑F≤4um。使得蒸镀掩模制造过程中，避免第一次刻蚀直接蚀穿金属卷材。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 蒸镀掩 模组 装置 显示装置 | ||
【主权项】：
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