[发明专利]一种高可靠性热电器件及制备方法有效
| 申请号： | 202011297638.8 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN112331759B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 宋晓辉;赵华东;吕鹏;张瑞;张景双;李和林;许俊杰;张响;宋红章;田增国 | 申请（专利权）人： | 郑州大学;郑州郑大智能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L35/02 | 分类号： | H01L35/02;H01L35/08;H01L35/34 |
| 代理公司： | 郑州中原专利事务所有限公司 41109 | 代理人： | 李想 |
| 地址： | 450000 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明通过构造纳米金属键合层，利用纳米效应实现热电器件低温冶金键合和高温服役；在镍金属层表面制备具有纳米孔结构的金属镍层，铜金属层的表面制备镍纳米针锥结构层作为键合连接面，不同结构形态的纳米键合层键合后，形成封装互连界面纳米柱形柔性层，用于匹配和吸收器件服役过程中较大热应力冲击，降低界面热应力导致的裂纹损伤，提升热电器件在高温服役过程中的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可靠性 热电器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
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