[发明专利]MEMS麦克风器件及其形成方法有效
| 申请号： | 202011297836.4 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN112104960B | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 徐希锐;魏丹珠 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路制造（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 312000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS麦克风器件及其形成方法。由于在上层材料层覆盖牺牲材料层侧壁的位置上形成有阻隔层，以利用阻隔层提高对刻蚀剂侧向渗入的阻挡强度，避免刻蚀剂侧向渗入而对牺牲材料层的侧壁部分造成侵蚀，并且利用阻隔层还可以提高对所制备出的器件在其边缘位置的保护强度。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 器件 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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