[发明专利]中红外波段激光器外延结构、中红外波段微腔激光器及其制备方法和应用、检测器件有效
| 申请号： | 202011298766.4 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112421375B | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 房丹;牛守柱;方铉;杜鹏;刘晓磊;赵鸿滨;王登魁;魏志鹏;王晓华;王菲 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | H01S5/028 | 分类号： | H01S5/028;H01S5/06;H01S5/10 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 陈露 |
| 地址： | 130000 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种中红外波段激光器外延结构、中红外波段微腔激光器及其制备方法和应用、检测器件，涉及半导体器件技术领域，包括依次设置于衬底上的过滤缓冲层、n型波导层、n型限制层、有源区、p型限制层、p型波导层和p型覆盖层；过滤缓冲层包括In |
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| 搜索关键词： | 红外 波段 激光器 外延 结构 及其 制备 方法 应用 检测 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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