[发明专利]蒸镀掩模、组件、装置、显示装置及其制造方法和装置在审
| 申请号： | 202011299713.4 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN115627443A | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 蓝秋亮 | 申请（专利权）人： | 匠博先进材料科技（广州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604 | 代理人： | 胡国英 |
| 地址： | 510000 广东省广州市黄埔区香山路9*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蒸镀掩模制造方法，该方法包括步骤：提供一金属卷材，所述金属卷材的厚度T满足关系式：5um≤T≤40um；分别在所述金属卷材的上表面及下表面真空贴合干膜光阻，通过曝光显影将所述干膜光阻图案化；通过图案化的所述干膜光阻刻蚀所述上表面形成第一面侧，在所述第一面侧真空贴合树脂以填埋所述第一凹部；通过图案化的所述干膜光阻刻蚀所述下表面形成第二面侧，定义一垂直所述上表面与所述下表面的纵截面，且所述第一开口的纵截面宽度为D，所述贯通孔的纵截面宽度为F，满足关系式：1um≤D‑F≤4um。使得蒸镀掩模制造过程中，避免第一次刻蚀直接蚀穿金属卷材。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 组件 装置 显示装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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