[发明专利]基于非对称耦合的两级亚波长光栅硅基光偏振分束旋转器有效
| 申请号： | 202011301953.3 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN112327410B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 邹喜华;解长健;李沛轩;潘炜;闫连山 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | G02B6/126 | 分类号： | G02B6/126;G02B6/125;G02B6/124 |
| 代理公司： | 成都信博专利代理有限责任公司 51200 | 代理人： | 舒启龙 |
| 地址： | 610031 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于非对称耦合的两级亚波长光栅硅基光偏振分束旋转器，采用二氧化硅作为基底，空气作为上包层以打破垂直对称性；使用硅波导，形成偏振分束旋转器主体；硅波导分为三部分：波导1为一级耦合亚波长光栅波导，等效拓宽波导特征尺寸，进而增大制作容差；波导2为两级锥形刻蚀波导，第一级锥形刻蚀与波导1完成相位匹配，实现偏振旋转，第二级刻蚀恢复波导厚度以参与二级耦合；波导3为二级亚波长光栅波导，对残留的TM |
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| 搜索关键词： | 基于 对称 耦合 两级 波长 光栅 硅基光 偏振 旋转 | ||
【主权项】：
暂无信息
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