[发明专利]一种柔性固态电介质薄膜电容器及其制备方法有效
申请号: | 202011303291.3 | 申请日: | 2020-11-19 |
公开(公告)号: | CN112466665B | 公开(公告)日: | 2022-06-10 |
发明(设计)人: | 苏振;李在房;宋嘉兴;胡林;尹新星;金英之 | 申请(专利权)人: | 嘉兴学院 |
主分类号: | H01G4/10 | 分类号: | H01G4/10;H01G4/33;H01G13/00;C01F7/308 |
代理公司: | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人: | 戚正云 |
地址: | 314001 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: |
本发明涉及电容器技术领域,尤其是一种柔性固态电介质薄膜电容器,包括自上而下依次设置的上部电极、氧化物电介质薄膜、无机柔性基底。其制备方法,采用以下制备步骤:(1)制备Al |
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搜索关键词: | 一种 柔性 固态 电介质 薄膜 电容器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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