[发明专利]一种用于光学器件检测的设备有效
申请号: | 202011303370.4 | 申请日: | 2020-11-19 |
公开(公告)号: | CN112698099B | 公开(公告)日: | 2023-07-25 |
发明(设计)人: | 曹清波;梁大明 | 申请(专利权)人: | 通富微电子股份有限公司 |
主分类号: | G01R27/02 | 分类号: | G01R27/02 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理有限公司 11435 | 代理人: | 郭栋梁 |
地址: | 226006 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请公开了一种用于光学器件检测的设备,所述用于光学器件检测的设备包括:支撑件,所述支撑件用于设置光学器件,所述支撑件沿第一方向运动;检测机构,所述检测机构包括相对设置的第一检测件和第二检测件,所述支撑件设置于所述第一检测件和所述第二检测件之间,所述第一检测件和所述第二检测件相向运动,所述第一检测件、所述第二检测件的运动方向与所述第一方向相互垂直。本申请实现自动化对光学器件的开尔文测试,代替人工作业,提高检测效率和检测稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 光学 器件 检测 设备 | ||
【主权项】:
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