[发明专利]一种超薄铁镍合金材料及其制造方法

摘要

本发明公开了一种超薄铁镍合金，包含以下组分：按质量分数计，Ni 35~37%，Mn≤0.5%，C≤0.01%，Si≤0.03%，P≤0.01%，Al≤0.03%，Mg≤40ppm，S≤40ppm，N≤30ppm，O≤30ppm，还可包括Cu≤0.3%，V≤0.03%，Ti≤0.03%，余量为Fe。所述铁镍合金材料的制造方法，过程如下：按前述配方取各组分，熔炼、煅烧制备板材坯料；对板材坯料进行热轧加工，直至板材厚度为2~6mm，热轧后板材自然冷却至室温；室温下，对热轧后的板材进行冷轧，冷轧后通过重结晶退火降低材料强度，重复进行若干次冷轧与重结晶退火的操作；再进行一次冷轧，使板材厚度达到0.015~0.05mm，然后进行非重结晶退火操作。本发明提供的超薄铁镍合金制造方法，通过优化热处理工艺，降低铁镍合金在轧制过程中产生的内应力，不会产生明显的翘曲和变形，满足精细金属掩膜版的品质要求。