[发明专利]一种三氟化氯的提纯方法及提纯系统在审
| 申请号： | 202011309109.5 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN112390230A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 金向华;温海涛;王新喜;孙猛;汪民霞 | 申请（专利权）人： | 苏州金宏气体股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B7/24 | 分类号： | C01B7/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 215152 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种三氟化氯的提纯方法，包括：S1)将三氟化氯粗品增压汽化后通过吸附剂进行吸附处理，得到脱除氟化氢的三氟化氯气体；所述吸附剂为氟化盐；S2)将所述脱出氟化氢的三氟化氯气体冷凝，得到冷凝后的三氟化氯液体；S3)将所述冷凝后的三氟化氯液体进行两级精馏，得到高纯三氟化氯。与现有技术相比，本发明采用吸附冷凝与两级精馏相结合，三氟化氯粗品先经吸附脱除部分氟化氢，再经两级连续精馏，能够将氟化氢、氧气、氮气及金属离子脱除到很高的纯度，通过能够对于金属离子杂质脱除的控制进一步增加，能够连续进行，操作平稳，得到满足半导体行业使用的3N纯度三氟化氯产品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氟化 提纯 方法 系统 | ||
【主权项】：
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