[发明专利]一种矢量补偿体布拉格光栅角度偏转器的制备方法有效
| 申请号： | 202011311195.3 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN112327398B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 晋云霞;郝旺;邵建达;孔钒宇;何冬兵;孙静;赵靖寅;莫建威;韩昱行 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B26/10 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种矢量补偿体布拉格光栅角度偏转器的制备方法。本发明根据入射光束锥角设计样品架，使用该样品架对样品进行曝光，曝光后使用马弗炉对样品进行热处理，热处理后将样品前后表面抛光，在样品前后表面镀制1064nm标准增透膜，制成矢量补偿体布拉格光栅角度偏转器。本发明方法可对记录在样品中的体布拉格光栅进行矢量补偿，使锥角入射光束满足布拉格条件，可以有效提高体布拉格光栅角度偏转器对于锥角入射光束的衍射效率，应用于二维光束扫描系统中可实现高效率的二维方向的光束扫描，具有制备方法简单，可大批量生产的优点，在二维激光光束扫描技术领域具有重要的实用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 矢量 补偿 布拉格 光栅 角度 偏转 制备 方法 | ||
【主权项】：
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