[发明专利]用于角参量检测的半球谐振陀螺电容结构及加工方法有效
| 申请号： | 202011311962.0 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN112414388B | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 方仲祺;方海斌;雷霆;卜继军;张挺;谭品恒 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | G01C19/5691 | 分类号： | G01C19/5691 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人： | 黄河 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于角参量检测的半球谐振陀螺电容结构及加工方法，该电容结构包括电容本体，所述电容本体上开设有用于与谐振子连接的插孔，其特征在于，所述电容本体包括柱形结构体，所述柱形结构体上设有第一导电覆盖层，所述第一导电覆盖层在所述柱形结构体上沿周向均匀分布形成多个平面电极，各个平面电极上均对应设置有向上延伸并相互靠拢弯曲的弯曲电极基材，且每个弯曲电极基材的外侧表面呈球弧面形并设有第二导电覆盖层形成球面电极，使得各个相互靠拢弯曲的弯曲电极基材构成一个整体呈半球状的半球形结构体。本发明的电容结构体积小、重量轻、读出信号强、精度高且还能避免分时控制模式导致的误差。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 参量 检测 半球 谐振 陀螺 电容 结构 加工 方法 | ||
【主权项】：
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