[发明专利]一种基于自适应光学波前校正的高次非球面检测方法有效
| 申请号： | 202011312177.7 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN112629436B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 李兵;赵卓;路嘉晟;刘桐坤;康晓清 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 高博 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于自适应光学波前校正的高次非球面检测方法及系统，搭建自适应光学波前校正干涉仪对高次非球面进行测量，得到耦合多种误差的测量值；通过组合调节变形镜表面形成不同面形的Zernike自由曲面形式，校正三阶及以上像差；采用两步Zernike模式随机并行梯度下降算法建立控制量与测量量之间的关系模型，优化测量值能量梯度G，保存可变形镜控制参数并固定对应的面形，进行干涉图像处理并计算测量结果，采用逆向优化得到待测非球面真实面形与理论面形的偏差；采用Zernike多项式对测量面形拟合，从测量结果中减去多项式前四项对应的位姿像差，得到最终的测量结果，完成非球面检测。本发明提高了干涉仪的动态测量范围，同时兼顾系统通用性与检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 自适应 光学 校正 高次非 球面 检测 方法 | ||
【主权项】：
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